Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Дж.Р.Брюэр, Д.С.Гринич, Д.Р.Херриот, Р.К.Хендерсон, Дж.П.Балантайн, Ж.Тротель, Б.Фэй. Под ред. Дж.Р.Брюэра. Перевод с английского В.В.Копицына и А.Н.Маркова.
Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
年:
1984
出版社:
Радио и связь
语言:
russian
页:
167
文件:
DJVU, 5.20 MB
IPFS:
,
russian, 1984
Litres
想添加您的书店？ 通过 support@z-lib.do 与我们联系
转换文件
更多搜索结果
其他特权 
![О.С. Моряков — Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Учеб. пособие для ПТУ, В 10 кн.] / Кн. 7 Элионная обработка](https://s3proxy.cdn-zlib.se/covers200/collections/genesis/0a9d8d6e12fc350f71d601048ad0ee0a3e063e1b46b5d8541986217e950150df.jpg)
